美國ALICAT耐高壓質量流量控制器,適用于高壓應用氣體質量流量的測量和控制??捎昧砍蹋?-5000 slpm;0-10 sccm,可調比:50:1,校準精度(NIST可溯源):±2%滿量程,可重復性:0.2%滿量程,標準控制器響應時間常數:5-10ms,無需預熱時間
美國艾里卡特質量流量控制器-多重氣體可選,Alicat的多種氣體可選系列數字式質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥精確測量與控制過程氣體的質量流量體積流量和壓力,還可同時測量并顯示氣體溫度。
美國艾里卡特質量流量計-雙閥壓力控制器,Alicat的雙閥系列雙閥壓力控制器利用兩臺定制高速比例控制閥快速精確地控制密閉系統內的絕壓或表壓。雙閥門設計采用一臺閥門保持設定壓力、另一臺用于泄壓,省去額外排氣閥的同時也減少了昂貴氣體的浪費
美國ALICAT 大流量系列雙閥壓力控制器$nAlicat的-大流量系列雙閥壓力控制器利用兩臺定制高速比例控制閥$n快速精確地控制密閉系統內的絕壓或表壓。
美國ALICAT 低壓降系列質量流量控制器$nAlicat的低壓降數字式質量流量計&質量流量控制器$n可快速精確地測量與控制過程氣體的質量流量、體積流量$n和壓力,并將對系統可能產生的影響降低
美國ALICAT質量流量計雙閥壓力控制器$n遠程系列雙閥壓力控制器是基于雙閥壓力控制器基礎上含一遠程壓力傳感端口,用于控制遠端$n系統內壓力。在很多應用場合里,壓力控制器出口并不是需要控制的壓力點$n而是遠處的某一個腔體或管路
美國艾里卡特MC系列質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥精確測量與控制過程氣體的質量流量體積流量和壓力,還可同時測量并顯示$n氣體溫度。
數字式質量流量控制器進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干凈《不能進水/油、雜質粉塵不超過20微米》。用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。